罗茨旋片机组
　　罗茨旋片机组是由罗茨泵为主泵和中间泵，以旋片泵为前级泵的真空机组。该机组具有真空度高，抽速范围广等特点，它较适用于抽除干燥、洁净的气体。当带有气镇装置时，也可以抽除含少量水蒸汽的气体。该系列机组广泛应用于需要大抽速和中高真空（10-1—10-2）的真空系统中。该系列机组已广泛应用于冶金、化工、轻工、石油、医药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等行业。例如：冶金工业 中的大规模钢液真空脱气过程；电力电容器和变压器的真空 浸渍处理；化纤工业的条纶切片；真空镀膜设备中扩散泵的前级机组等。
　　泵的冷却方式有两种，一种是借助工作介质自身的循环以吸收运转中产生的热量，即由泵的吐出口引一股液体（需经过滤）从电机尾部进入后轴承处，再经转子与定子之间的间隙和前轴承等通路返回叶轮，形成循环冷却系统，以此来达到冷却的目的，输送常温液体的普通屏蔽泵常采用这种方式进行冷却；另一种是转子的内部冷却，即将转子用循环油冷却，在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入，经转子内壁再从另一端排出，当泵在高压差下工作时，可采用这种冷却方式。